・・APC、ガス関連 日立金属 マスフロコントローラー SPS-831Q
| ID | 2838 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | 日立金属 |
| 型番 | SPS-831Q |
| 概要 | マスフロコントローラー |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
| 在庫部品一覧へ | |
・・APC、ガス関連 MKS ガス用電磁弁 0248A-00100SV
| ID | 2837 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | MKS |
| 型番 | 0248A-00100SV 100SCCM |
| 概要 | ガス用電磁弁 |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
| 在庫部品一覧へ | |
・APC、ガス関連 MKS ガス用電磁弁 0248A-00100RV
| ID | 2836 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | MKS |
| 型番 | 0248A-00100RV |
| 概要 | ガス用電磁弁 |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | マスフローバルブを他の種類のガスで使用する場合、ガスによって定められたコンバージョンファクタCFがあります。 ArはCF=1.40、酸素はCF=0.99、厳密にはガスの比熱、密度の違いを勘案する必要あるので詳細はメーカーに問い合わせが必要です。 簡易法:アルゴンガスで校正されたMFVで酸素を流す場合は酸素を流して100SCCMと表示された場合、 酸素の実流量=表示値x(酸素のCF/ArのCF) 例:酸素の実流量=100SCCMx(0.99/1.4)=70.7SCCM 70.7SCCMがArガスでメーカーが校正したマスフローバルブで酸素を表示100SCCMで流した時の実流量です。。 参考: Arの密度1.796、酸素密度1.382、Ar比熱523、酸素比熱917と条件相違があります。 |
| 在庫部品一覧へ | |
・・APC、ガス関連 日立金属 マスフローバルブ SFC280E RC-4S N2 100SCCM
| ID | 2835 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | 日立金属 |
| 型番 | SFC280E RC-4S N2 100SCCM |
| 概要 | マスフローバルブ |
| 備考 | 製造中止品 |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
| 在庫部品一覧へ | |
・・APC、ガス関連 日立金属 マスフローバルブ SFC280E RC-4V O2 50SCCM
| ID | 2834 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | 日立金属 |
| 型番 | SFC280E RC-4V O2 50SCCM |
| 概要 | マスフローバルブ |
| 備考 | 製造中止品 |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
| 在庫部品一覧へ | |
・APC、ガス関連 日立金属 マスフローバルブ SFC280EP8 RC-4S O2 20SCCM
| ID | 2830 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | 日立金属 |
| 型番 | SFC280EP8 RC-4S O2 20SCCM |
| 概要 | マスフローバルブ |
| 備考 | 製造中止品 |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | GRC-11Dに組み込み品 |
| 在庫部品一覧へ | |
イオン・プラズマ関連 シンクロン MULTI POWER SUPPLY RIP-α1 MB
| ID | 2824 |
| 分類 | 電子銃・イオン銃 |
| メーカー | シンクロン |
| 型番 | MULTI POWER SUPPLY RIP-α1 MB |
| 概要 | イオン源のみ |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
| 在庫部品一覧へ | |
イオン・プラズマ関連 シンクロン RIP-α1 ニュートラライザ電源
| ID | 2823 |
| 分類 | 電子銃・イオン銃 |
| メーカー | シンクロン |
| 型番 | RIP-α1 |
| 概要 | IG/ニュートラライザ電源 |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
| 在庫部品一覧へ | |