光学薄膜設計ソフト TFV の特徴

TFVは、直感的でわかりやすい操作性、リアルタイムのきびきびとした動作が特徴の、国産・光学薄膜設計ソフトです。
豊富な機能と圧倒的な使いやすさで、真空蒸着装置・スパッタリング装置等での製品立ち上げや品質管理など、研究開発部門だけでなく生産部門でもご利用いただけます。
光学メーカー、電機メーカー、研究開発機関など、幅広くご利用いただいております。

TFV画面

新しい最適化: フリーハンドモード

フリーハンドモードは、グラフ上の特性をマウスでなぞって変形させると、その変形させた形になるように最適化をおこなう新しいタイプの最適化方法です。

フリーハンドモード動作の様子

 
その他にも複数の最適化機能を搭載しています。

  • ローカルサーチ
  • 膜厚を変化させてターゲットに近づける、一般的な最適化機能です。
    層数固定。

  • グローバルサーチ
  • 膜厚を変化させてターゲットに近づける途中で、膜厚をランダムに変化させることで複数の解を探します。
    ローカルサーチで局所解に陥るのを回避するための機能です。
    層数固定。

  • ニードルサーチ
  • 層を増やしながらターゲットに近づけていきます。

基本操作

スライドバーやアップダウンボタンによるマウス操作で、膜厚や膜物質が素早く変更でき、変更は即座にグラフに反映されます。
波長グラフ・入射角グラフ等、各種のグラフを同時に表示させながら設計できます。

TFV画面
  • 5つのシートにそれぞれ膜データーを登録し、グラフ上に重ね書きができます。
  • 裏面側からの特性を同時にグラフ表示できます(波長グラフ,入射角グラフ,色グラフ)。
  • 分光光度計で測定したデーターファイルを読み込んで波長グラフに表示することができます。
  • 測定値が相対反射の場合でも絶対反射に変換して読み込むことができます。
    対応している分光光度計ファイル形式
    日立分光光度計 UV1ファイルおよびUV-Solutionsファイル(*.UV1, *.UDS, *.UDA) U-4000シリーズ等
    島津製作所分光光度計 SPCファイル
    オリンパス レンズ反射率測定機 USPMファイル(*.dat, *.csv)
    日本分光 JWSファイル
    Ocean Optics ファイバー式分光器 OOi-Base32ファイル
    csvファイル
    タブ区切りテキストファイル
    その他ご要望により対応いたします。

光学式膜厚制御シミュレーション

モニターガラス上の膜厚と製品基板上の膜厚の差(Tooling)、設計上の屈折率・吸収係数(大気中)と成膜中(真空中)の屈折率・吸収係数の差を考慮したシミュレーションが可能です。
ガス導入条件、イオンビーム条件による光量ピークの変動への対応が容易におこなえます。
全部の層の光量変化を同時に表示できるため、条件設定を見通しよくおこなうことができます。

光学式膜厚制御シミュレーション画面

 
各種測光方式に対応しています。

  • 裏面反射測光
  • 裏面反射測光
  • 表面反射測光
  • 表面反射測光
  • 透過測光
  • 透過測光1透過測光2

色計算

様々な種類の光源・表色系に対応しています。
2つの設計間の色差・吸収がある膜の表面と裏面の色差などを計算することができます。
すべてのシートの計算結果を表示するので、別のシートの膜データーとの色差を計算できます。

色計算画面

電場強度(電界強度)分布

偏光成分別の電場強度分布が表示できます。

電場強度(電界強度)分布画面

製造誤差解析

波長特性のモンテカルロシミュレーション

波長特性のモンテカルロシミュレーション画面

 
色のモンテカルロシミュレーション

色のモンテカルロシミュレーション画面

 

乱数の生成には、高品質な乱数生成法として定評のあるメルセンヌ・ツイスター法(Mersenne twister)を使用しています。

複数基板の計算(スタック)

複数の基板(平行平面基板)の各面に膜が付いた場合の合計の計算ができます。

スタック計算画面

不均質

層毎に不均質を設定することができます。
一般的に負の不均質を持つZrO2膜などで、設計上の特性と実際の特性をより近づけることができます。

不均質画面

周期層

周期層をとてもわかりやすく表示できます。
周期層内の膜厚の倍率を設定することができるため、膜厚を少しずらした周期層を重ねる設計などの検討が容易にできます。

周期層画面

nk解析

分光光度計で測定した単層膜のデーターを読み込んで、膜の屈折率(n)・吸収係数(k)・膜厚(d)を解析できます。不均質の解析もできます。
ウイザード形式で画面の指示に従うわかりやすい操作性です。

nk解析画面

薄膜電卓

薄膜に関する簡単な計算ができるツールが付属しています。

  • λ/4膜の屈折率計算
  • λ/4膜の屈折率計算画面

     

  • 厚膜の両面合計反射率計算
  • 厚膜の両面合計反射率計算画面

     

  • 3層等価膜計算
  • 3層等価膜計算画面

推奨PCスペック

OS: Windows 7sp1/8.1/10/11
CPU: Intel または AMDプロセッサ。Intel Core i5またはAMD Ryzen5以上、4コア8スレッド以上のCPUを推奨します。
メモリー: 8GB以上
100MB以上のディスク空き容量
USBポート(本ソフトはUSBハードキーによりライセンス管理しています)
1024 x 768以上の画面解像度。Full HD(1920×1080)以上を推奨します。
TFVは複数のグラフを表示できるので、解像度が高くサイズが大きい画面の方が使い勝手がいいです。

お問い合わせ先

販売元

有限会社テックウェア
〒242-0024 神奈川県大和市福田3345-11 山二商事ビル3号
TEL: 046-240-8653
弊社は本ソフトの国内総販売代理店です。

開発元

ナリー・ソフトウエア
https://nary-software.com/

光学薄膜設計ソフト TFV ホームページ

https://thinfilmview.com/jp/

こちらからデモ版をダウンロードいただけます。
https://thinfilmview.com/jp/download