・真空計関連 アネルバ IONIZATION GAUGE M431HG
| ID | 2854 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | アネルバ |
| 型番 | M431HG |
| 概要 | IONIZATION GAUGE |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | 故障で廃棄 |
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シール、パッキン関連 シンクロン サイレントチェーン 移載用 126リンク
| ID | 2853 |
| 分類 | 真空装置用部品 |
| メーカー | シンクロン |
| 型番 | サイレントチェーン |
| 概要 | 移載用 126リンク |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
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・TMP関連 VAT ADAPTIVE PRESSURE CONTROLLER 641PM-16BC-0002/0805
| ID | 2848 |
| 分類 | 真空ポンプ |
| メーカー | VAT |
| 型番 | 641PM-16BC-0002/0805 |
| 概要 | ADAPTIVE PRESSURE CONTROLLER |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
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TMP関連 VAT VALVE 64251-JE52-0001/0026 A836162 に STEPPIG MOTOR SH8618M5304-KVA3付
| ID | 2849 |
| 分類 | その他 |
| メーカー | VAT |
| 型番 | バルブ 64251-JE52-0001/0026 A836162 に ステッピングモーター SH8618M5304-KVA3付 |
| 概要 | バルブ |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | 未整備 |
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・TMP関連 島津製作所 TMPポンプコントローラー EI-D3203M TMP-3023LM用
| ID | 2846 |
| 分類 | 真空ポンプ |
| メーカー | 島津製作所 |
| 型番 | EI-D3203M TMP-3023LM用 |
| 概要 | TMPポンプコントローラー |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
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TMP関連 島津製作所 TMPポンプ TMP-3023LM
| ID | 2845 |
| 分類 | 真空ポンプ |
| メーカー | 島津製作所 |
| 型番 | TMP-3023LM NZC199 2100rpm |
| 概要 | TMPポンプ |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | 未整備 |
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・・APC、ガス関連 山武 マスフローバルブ CMQ-V N2/200ml/min O2/200ml/min
| ID | 2844 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | 山武 |
| 型番 | CMQ-V N2/200ml/min O2/200ml/min |
| 概要 | マスフローコントローラー |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | N2用6台 O2用1台 |
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