・APC、ガス関連 MKS ガス用電磁弁 0248A-00100RV
| ID | 2836 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | MKS |
| 型番 | 0248A-00100RV |
| 概要 | ガス用電磁弁 |
| 備考 | |
| 詳細内容 | マスフローバルブを他の種類のガスで使用する場合、ガスによって定められたコンバージョンファクタCFがあります。 ArはCF=1.40、酸素はCF=0.99、厳密にはガスの比熱、密度の違いを勘案する必要あるので詳細はメーカーに問い合わせが必要です。 簡易法:アルゴンガスで校正されたMFVで酸素を流す場合は酸素を流して100SCCMと表示された場合、 酸素の実流量=表示値x(酸素のCF/ArのCF) 例:酸素の実流量=100SCCMx(0.99/1.4)=70.7SCCM 70.7SCCMがArガスでメーカーが校正したマスフローバルブで酸素を表示100SCCMで流した時の実流量です。。 参考: Arの密度1.796、酸素密度1.382、Ar比熱523、酸素比熱917と条件相違があります。 |