TMP関連 VAT VALVE 64251-JE52-0001/0026 A836162 に STEPPIG MOTOR SH8618M5304-KVA3付
| ID | 2849 |
| 分類 | その他 |
| メーカー | VAT |
| 型番 | バルブ 64251-JE52-0001/0026 A836162 に ステッピングモーター SH8618M5304-KVA3付 |
| 概要 | バルブ |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | 未整備 |
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・TMP関連 島津製作所 TMPポンプコントローラー EI-D3203M TMP-3023LM用
| ID | 2846 |
| 分類 | 真空ポンプ |
| メーカー | 島津製作所 |
| 型番 | EI-D3203M TMP-3023LM用 |
| 概要 | TMPポンプコントローラー |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | |
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TMP関連 島津製作所 TMPポンプ TMP-3023LM
| ID | 2845 |
| 分類 | 真空ポンプ |
| メーカー | 島津製作所 |
| 型番 | TMP-3023LM NZC199 2100rpm |
| 概要 | TMPポンプ |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | 未整備 |
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APC、ガス関連 山武 マスフローバルブ CMQ-V N2/200ml/min O2/200ml/min
| ID | 2844 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | 山武 |
| 型番 | CMQ-V N2/200ml/min O2/200ml/min |
| 概要 | マスフローコントローラー |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | N2用6台 O2用1台 |
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・APC、ガス関連 MKS ガス用電磁弁 0248A-00100RV
| ID | 2836 |
| 分類 | 真空計・圧力制御 |
| メーカー | MKS |
| 型番 | 0248A-00100RV |
| 概要 | ガス用電磁弁 |
| 備考 | |
| 管理記号 | |
| 詳細内容 | マスフローバルブを他の種類のガスで使用する場合、ガスによって定められたコンバージョンファクタCFがあります。 ArはCF=1.40、酸素はCF=0.99、厳密にはガスの比熱、密度の違いを勘案する必要あるので詳細はメーカーに問い合わせが必要です。 簡易法:アルゴンガスで校正されたMFVで酸素を流す場合は酸素を流して100SCCMと表示された場合、 酸素の実流量=表示値x(酸素のCF/ArのCF) 例:酸素の実流量=100SCCMx(0.99/1.4)=70.7SCCM 70.7SCCMがArガスでメーカーが校正したマスフローバルブで酸素を表示100SCCMで流した時の実流量です。。 参考: Arの密度1.796、酸素密度1.382、Ar比熱523、酸素比熱917と条件相違があります。 |
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