光学薄膜設計ソフト TFV

光学薄膜設計ソフト TFV の特徴

TFVは、直感的でわかりやすい操作性、リアルタイムのきびきびとした動作が特徴の、国産・光学薄膜設計ソフトです。
豊富な機能と圧倒的な使いやすさで、真空蒸着装置・スパッタリング装置等での製品立ち上げや品質管理など、研究開発部門だけでなく生産部門でもご利用いただけます。
光学メーカー、電機メーカー、研究開発機関など、幅広くご利用いただいております。

新しい最適化: フリーハンドモード

フリーハンドモードは、グラフ上の特性をマウスでなぞって変形させると、その変形させた形になるように最適化をおこなう新しいタイプの最適化方法です。

その他にも複数の最適化機能を搭載しています。

ローカルサーチ

膜厚を変化させてターゲットに近づける、一般的な最適化機能です。
層数固定。

グローバルサーチ

膜厚を変化させてターゲットに近づける途中で、膜厚をランダムに変化させることで複数の解を探します。
ローカルサーチで局所解に陥るのを回避するための機能です。
層数固定。

ニードルサーチ

層を増やしながらターゲットに近づけていきます。

基本操作

スライドバーやアップダウンボタンによるマウス操作で、膜厚や膜物質が素早く変更でき、変更は即座にグラフに反映されます。
波長グラフ・入射角グラフ等、各種のグラフを同時に表示させながら設計できます。

5つのシートにそれぞれ膜データーを登録し、グラフ上に重ね書きができます。
裏面側からの特性を同時にグラフ表示できます(波長グラフ，入射角グラフ，色グラフ)。
分光光度計で測定したデーターファイルを読み込んで波長グラフに表示することができます。

測定値が相対反射の場合でも絶対反射に変換して読み込むことができます。
対応している分光光度計ファイル形式
日立分光光度計 UV1ファイルおよびUV-Solutionsファイル(*.UV1, *.UDS, *.UDA) U-4000シリーズ等
島津製作所分光光度計 SPCファイル
オリンパスレンズ反射率測定機 USPMファイル(*.dat, *.csv)
日本分光 JWSファイル
Ocean Optics ファイバー式分光器 OOi-Base32ファイル
csvファイル
タブ区切りテキストファイル
その他ご要望により対応いたします。

光学式膜厚制御シミュレーション

モニターガラス上の膜厚と製品基板上の膜厚の差(Tooling)、設計上の屈折率・吸収係数(大気中)と成膜中(真空中)の屈折率・吸収係数の差を考慮したシミュレーションが可能です。
ガス導入条件、イオンビーム条件による光量ピークの変動への対応が容易におこなえます。
全部の層の光量変化を同時に表示できるため、条件設定を見通しよくおこなうことができます。