・APC、ガス関連 日立金属 マスフローバルブ FMT280E R-4S O2 500SCCM ID1256分類真空計・圧力制御メーカー日立金属型番FMT280E R-4S O2 500SCCM概要マスフローバルブ備考製造中止品 詳細内容在庫部品一覧へ 在庫部品一覧へ