業務内容

真空蒸着装置・スパッタ装置など、真空成膜装置のメンテナンス(修理・改造・移設・オーバーホール)を行っております。
国内装置メーカー出身の経験豊富な技術者が対応します。
PC/PLCの制御ソフト作成、溶接・ロー付、冷凍機整備、電気配線等の経験者が揃っています。
古い装置の修理や、急な装置トラブルにも対応できるよう、製造中止部品などの修理用部品も在庫しております。

真空成膜装置のメンテナンス

制御システム関係

装置制御システムの設計開発、機能追加、修理(PC, PLC)
自動成膜システムの作成
旧型PCのWindows化
旧型PLCの最新型への置き換え
旧型タッチパネルの最新型への置き換え
光学式膜厚計の修理、現地光軸調整(シンクロン、昭和真空、真空技研製)
光学式膜厚計の自動制御(シンクロン、昭和真空、朝日分光の自動化実績あり)
水晶式膜厚計の修理(インフィコン XTC/2)
光学膜厚計用チョッパモータ修理(シンクロン用、昭和真空用、真空技研用シンクロナスモータ)
APC置き換えに伴う改造(MFV、コントローラー取り付け)
シリアル伝送部品(製造中止品: YS221L, G71-OD16)の置き換えに伴う改造

蒸発源周り

電子銃(EBガン)置き換えに伴う改造
電子銃(EBガン)用ハースの修理・改造
抵抗加熱増設に伴う改造(ターレット式、固定式)
プラズマ源、イオン源(イオンビーム)の増設、修理
ＲＦ電源、スパッタ電源の更新に伴う改造工事

装置本体周り

磁気シールの修理・整備・交換
ドーム回転の修理・整備(磁気シール、ウイルソンシール、軸受)
ドーム回転PSモータの修理(富士製ギアーモータ、電源BOX)
ヒータの巻き替え修理
自動起動、温度制御、真空計の故障に伴う修理・置き換え
モニター、シャッタ、材料供給機構、補正板修理
シリンダーの整備修理(泰平、SMC、昭和、CKD、クロダ、コガネイ)
冷却水パイプの巻き替え、漏れ修理、つまり修理(DP、チャンバ本体)

排気系

冷凍機の改造修理・ガス補充(ポリコールド、ネオコールド)
クライオポンプ置き換えに伴う制御システム改造
ロータリーポンプ(RP)、メカニカルブースターポンプ(MBP)、シンプラチューボ継手の整備・修理(丸山、神港、アルバック、エドワーズ、芝浦、徳田)
油拡散ポンプ(DP)の修理・整備(シンクロン、昭和真空、オプトラン、芝浦、ダイア、アルバック、海外製)

連続装置

連続蒸着機ゲートバルブパッキン交換
連続機移載機構整備、修理(カムフォロア交換)
連続機シリンダ整備、修理(油圧、空圧)
連続機ハース、ドーム回転、シャッタ、材料補給の整備修理
連続機油圧機器修理、整備(豊興、油研)
連続機PSモータの修理

スパッタ装置(RAS等)

RASスパッタ機ゲートバルブパッキン交換
RASスパッタ機ドーム回転修理、整備(磁気シール、軸受)
RASスパッタ機移載機構整備、修理(カムフォロアー交換)

その他

各種ノイズ対策工事
各種データ取り込み保存
チャンバ内温度分布測定ケーブル、FT(ドーム固定時測定式)
チャンバ内電流密度測定ケーブル、FT(イオンビーム用）

自社開発の自動成膜システム

PCやPLC(シーケンサ)が古くて代替品もない。故障したら生産できなくなってしまう。
特殊な成膜方法を行いたいが、装置付属の標準ソフトでは機能が足りなくて自動制御できない。
このようなことで困っていませんか？
弊社ではWindows対応の自動成膜システムを自社開発しており、お客様のご希望に合わせた機能の追加も可能です。
PCとPLCを最新のものに置き換え、新技術への対応・装置の延命をお手伝いします。

自動成膜システムのメンテナンス

サポート切れでメーカーにて修理不可となった制御PCを代替品に置き換えます。
ソフトや成膜レシピをそのまま代替PCに移植します。
代替PCはNECファクトリコンピュータ中古品を使用します(新品に置き換え可能な場合もあり)。
HDDは新品を使用します(予備も作ります)。
PCが壊れる前に置き換えることをお勧めします。

主な対応可能システム

シンクロン MDC、TOPシステム、DDM、SDC-I、SSC-I
昭和真空ウェーブナビゲーター、SOCS-1α

自社開発のAPC自動圧力制御ユニット

バルザース製RGV040と置き換え可能です。
ガス流量はデジタル表示。
成膜途中の設定の変化にも十分対応します。
ガスはMFバルブで制御します。
常時在庫保管しています。

光学式膜厚計用チョッパーモーター

シンクロナスモーターは販売中止となりました。
既存モータと同等のモーターを販売しております。
若干の組み換え作業があります。
お問い合わせください。

装置の移設

国内工場間の移設、国内工場・海外工場間の移設、装置の廃棄などを行っております。
中国、ベトナム、フィリピン、韓国、タイ、カナダなどに移設実績があります。
現地で成膜運転まで実施。
お気軽にご相談ください。

水晶振動子

インフィコン社純正の新品・水晶振動子です。
米国から入荷します。
概略使用数と購入価格を連絡下さい。
弊社ベスト価格を提示します。

インフィコン純正新品水晶振動子

6MHz	Au	14φ
6MHz	Ag	14φ
6MHz	アルミアロイ	14φ
6MHz	Au-Ts	14φ
5MHz	Au	14φ
5MHz	Ag	14φ
5MHz	アルミアロイ	14φ
5MHz	Au-Ts	14φ
5MHz	Au	12.4φ
5MHz	Ag	12.4φ
5MHz	アルミアロイ	12.4φ
5MHz	Au-Ts	12.4φ

6MHz: インフィコン用
5MHz: アルバック用
Au: 汎用
Ag: 熱対策
アルミアロイ: 誘電体(SiO2等)に長寿命
Au-Ts: 寿命0-5%域で熱に強い

蒸着材料

各種蒸着材料取り扱いしております。国産メーカーの製品です。

Al2O3
HfO2
SiO2

ZrO2
Nb2O5
MgF2

ZrO2+TiO2
Cr2O3
WO3

Ta2O5
CeF2

顆粒サイズ、成形品サイズはお問い合わせ下さい。
成形品密度調整も可能です。

ZrO2 + TiO2 扇形

左側: 使用後、右側: 使用前

ZrO2 + TiO2 ペレット

Al2O3

ZrO2、WO3

左側: ZrO2、右側: WO3

材料のみならず、赤外用のアーチ型ハースへの改造等もおこないます。

部品の販売

真空用アルミ箔
オイル(MR100、MR200, MR200A、MR250、EP83、R7. R4、ライオンS)
EBフィラメント、IGフィラメント
水晶振動子(インフィコン純正新品 5MHZ 6MHZ)
真空計、測定子
Oリング(GV用ドアー用ウイルソン、P型 G型 V型甲丸)
軸受、水金具、水ホース、電磁弁、シリンダ
リレー、タイマー、電磁接触器、絶縁変換機等電気部品

保有品、貸出機

中古部品を取りそろえております。
故障など緊急の際は貸出可能です。

中古販売可能品

中古部品を販売いたします。

工事用保有機器のご紹介

ヘリウムリークディテクタ

島津製ヘリウムリークディテクタ、ヘリウムボンベ

ポリコールド用ガス

補充ガス、交換ガス在庫。
ポリコールドコンプレッサー交換実績あり。ガス補充、漏れ修理実績あり。

ロー付け用ガスボンベ

配管水漏れ修理実績あり。

冷媒ガス用リークディテクタ

ポリコールドガス漏れ修理実績あり。

SUS用溶接機(TIG溶接)

配管改造実績あり。リーク修理実績あり。免許保持者在籍。

アーク溶接機

免許保持者在籍。

パイプ切断機

6インチSUBパイプ切断可能。

プラズマカッター

チャンバー床板切断用

重量物運搬用ハンドリフト
重量物運搬用門型クレーン、ジャッキ
3トンユニック車

真空磁気シールの修理

メーカー(フェローテックFerrotec、理学Rigaku、NOK等)を問わず、真空磁気シール(回転導入機)、磁性流体シール(防塵シール)全般の修理・メンテナンス・オーバーホールを、日本国内で格安にて承っております。
構成部品の腐蝕により、修理不可能もしくは高額な場合は、同性能の新規製品がご選定できます。